Dispositivos de medición UV para alineadores de máscaras (litografía)
Un alineador de máscaras es una máquina herramienta de precisión utilizada en el proceso de fabricación de semiconductores para transferir un patrón a una oblea o sustrato; estos patrones son de escala micro y nano. Los patrones (estructura) se crean mediante un método de transferencia de sombras, en el que el patrón (fotomáscara) que se va a imprimir se coloca entre una fuente de luz y el sustrato que se va a estampar (oblea). El sustrato que se va a imprimir se recubre primero con un material fotosensible (fotorresistencia), que reacciona a la luz proyectada por la imagen de sombra. El patrón resultante se revela con productos químicos específicos.
Este proceso se conoce comúnmente como fotolitografía; en otro documento, Fundamentos de la litografía [1], se ofrecen más detalles sobre esta técnica de microfabricación.
Los alineadores de máscaras permiten utilizar la fotolitografía para producir dispositivos semiconductores, como transistores, sensores y componentes médicos, etc. Junto con un método para recubrir uniformemente el sustrato con fotorresistencia, un alineador de máscara es crucial para el proceso de fotolitografía. Un alineador de máscaras se utiliza tanto para alinear con precisión el sustrato recubierto con la fotomáscara que contiene la estructura que se va a modelar, como para exponer el sustrato con luz para transferir el patrón deseado al sustrato.En las aplicaciones en las que el detector de luz es susceptible a los cambios de temperatura, como en un alineador de máscaras UV utilizado en la fotolitografía de semiconductores, el coeficiente de temperatura del detector de luz debe considerarse como una posible fuente de error. Muchos de los alineadores de máscaras actuales emplean una potente lámpara de mercurio (Hg) que emite altos niveles de UV que exponen el material fotosensible (fotorresistente) en el sustrato. Dependiendo de la fotorresistencia utilizada, la luz debe transmitirse en el rango de banda ancha, o en un espectro específico G: 436 nm, H: 405 nm o I: 365 nm.
Una opción alternativa que está ganando adeptos a la lámpara de mercurio es utilizar un conjunto de LEDs UV. Éstos contienen una serie de LED que emiten luz en las longitudes de onda de las líneas G, H o I, o una combinación de las tres para producir un espectro de banda ancha similar al de la bombilla de mercurio. (inseto-Qué es un alineador de máscara)
Gigahertz Optik GmbH fabrica muchos radiómetros con filtro UV de diferentes configuraciones para las clásicas lámparas UV de banda ancha espectral, como las lámparas de vapor de mercurio de media y alta presión o las lámparas de baja presión que se encuentran en los alineadores de máscara. Estos radiómetros han sido desarrollados en coordinación con nuestros clientes que fabrican alineadores de máscaras y otros aparatos fotolitográficos. A menudo, esto hace que nos convirtamos en un proveedor OEM con acuerdos comerciales de marca privada. Ofrecemos soluciones personalizadas únicas, como la función de corrección de la temperatura incorporada a la electrónica, que mide la temperatura y corrige la lectura de la irradiación en consecuencia.
También ofrecemos radiómetros UV para medir la irradiancia en diferentes longitudes de onda de los LED y espectrorradiómetros que proporcionan información sobre la longitud de onda y la intensidad. Las ventajas de los radiómetros con filtro UV incluyen una favorable relación precio/rendimiento, un diseño de detector de perfil bajo y plano según las necesidades, tiempos de medición rápidos y robustez. Los espectrorradiómetros no están restringidos a un paso de banda espectral específico, por lo que son más versátiles y útiles, especialmente en el uso de la investigación.
- Radiómetro espectral plano sin cables BTS256-UV - Cuatro modelos de óptica de entrada
- Detectores de curado UV de la serie RCH-XXX para alta temperatura e irradiación UV
- Detector/Amplificador PLCD - Configurado por el cliente - (4-20) mA o (0-20) mA para PLC
- MDC-4-UV-BLUE Detector integral inteligente para LEDs con detección de longitud de onda
Ofrecemos Radiómetros UV con detectores con corrección de filtro para lámparas UV clásicas de banda ancha espectral, como lámparas de vapor de mercurio de media presión o lámparas de baja presión en alineadores de máscara. Aquí nos basamos en décadas de experiencia con grandes clientes en este campo. A menudo actuamos también como proveedor OEM con el logotipo del cliente. Debido al creciente uso de fuentes de luz LED, también ofrecemos Radiómetros UV para medir la irradiación de diferentes longitudes de onda LED, así como sistemas de medición espectral (espectrorradiómetros). La ventaja de los radiómetros UV estriba en su favorable relación precio-rendimiento, su diseño plano, los cortos tiempos de medición y su robustez. Las mediciones de los espectrorradiómetros son en gran medida independientes de la gama espectral del LED. Estaremos encantados de trabajar con usted para encontrar la mejor solución para usted, y también estamos encantados de apoyar las etiquetas OEM.
Referencias