Messung der UV-Laserleistung im UV-Laserscan-Mikroskop

In UV Laserscan Mikroskopen erfolgt die Probenbeleuchtung mittels UV-Laser durch ein Mikroskop-Objektiv. Soll die gesamte Strahlungsleistung des stark konvergenten Strahlenbündels präzise gemessen werden, dann ist ein Detektor mit großem Akzeptanzwinkel erforderlich.

Fotodioden haben eine zweidimensionale Sensorfläche. Bei flachen Einfallswinkeln der Strahlung wird ein Teil der Strahlung von der Oberfläche reflektiert. Die gemessene Strahlungsleistung würde dadurch reduziert. Um diesen Messfehler zu reduzieren, können Detektoren mit einer kompakten Ulbrichtschen Kugel kombiniert werden. Diese bieten einen großen Akzeptanzwinkel und können mit höherer Laserleistung beaufschlagt werden.

Bild 1: Prinzipdarstellung zur Funktion des Ulbrichtkugeldetektors

Wegen der Baugröße des Detektors muss der Probentisch schwenkbar sein.

Der kompakte Detektor ISD-5P-SiUV besteht aus einer 50 mm Ulbrichtschen Kugel mit UV-empfindlichen Si-Fotodiode. Ulbrichtkugel- Detektoren können für den Spektralbereich von 250 nm bis 1100 nm kalibriert werden und dadurch mit Lasern unterschiedlichster Wellenlängen eingesetzt werden